臭氧发生器是产生臭氧的机器。发生器是一种空气或水的净化装置。其主要用途是利用臭氧杀灭i菌类，过滤作用的污染物。臭氧发生器是一种内热式气相反应器。因为空气等类似气体都是不好的导热体，电晕放电产生的热量会使气体温度升高。较高的温度会加速臭氧的逆反应，即臭氧被还原成氧气，从而降低臭氧产量。因此，冷下也是提高发生器效率的一项措施。由于水和油的吸热系数远大于空气，工业发生器一般采用水冷或油冷发生器。由于空气冷方便易行，这种形式常用于微型臭氧发生器。